Finnigan ELEMENT XR, Thermo Fisher, 令和5年設置．
世界でもっとも高感度かつ高精度な微量元素分析システム．目的元素をアルゴンプラズマでイオン化，二重収束型質量分析計（分解能300-10,000）で妨害イオンと分離し，測定する．70種以上の元素について，ppq（10-15）レベルまでの多元素同時定量が可能である．
化学系研究設備有効活用ネットワーク登録設備．共同利用可．詳しくはネットワークのホームページをご覧下さい．

NexION 350D, Perkin Elmer, 平成27年設置．
イオンレンズと四重極質量分離部の間にユニバーサルセルを持つ四重極型ICP-MS．リアクションモードでは，イオンレンズを通過したイオンのうち，分子イオンは反応ガス(NH3など)と反応し除去される．一方，目的原子イオンは，反応ガスによる影響を受けずに質量分離部に入り，質量対電荷比(m/z)によって分離され，検出部に到達する．そのため，分子イオンの干渉を受けるFe，Caなどの検出限界が著しく低くなる．約70種の元素について，ppt（10-12）レベルまでの多元素同時定量が可能．本装置は，宇治地区実験排出中の重金属類のモニターおよび研究に活用されている．
化学系研究設備有効活用ネットワーク登録設備．共同利用可．詳しくはネットワークのホームページをご覧下さい．

SPECTRO BLUE, SPECTRO, 平成24年設置.
溶液試料を高温のアルゴンプラズマ中に噴霧し，目的元素を中性の原子やイオンとし，さらに励起する．励起された原子やイオンは，低いエネルギー準位に戻るときに発光する．その波長から元素を同定し，その強度から元素の含有量を求める．本装置はパッシェンルンゲ光学系と半導体検出器の組み合わせにより，多元素の発光線スペクトルを同時に観測できる．ppb（10-9）レベルまでの濃度において，多元素同時定量を高精度で行うことができる．
化学系研究設備有効活用ネットワーク登録設備．共同利用可．詳しくはネットワークのホームページをご覧下さい．

TRACE GC2000-DSQ, Thermo Fisher, 平成15年設置．
四重極型質量分析計とヘッドスペース型オートサンプラーを備えたガスクロマトグラフ．カラムで分離された気体分子は，イオン源で電子照射を受けイオン化，分解され，質量分析計に入る．分子イオンおよびフラグメントイオンを四重極アナライザーで分離し，検出する．ngからfgレベルの揮発性有機化合物の分析が可能．本装置は，おもに宇治地区実験排出中の揮発性有機化合物のモニターに活用されている．

平沼産業製．
海水などの微量元素を簡単，迅速に分離濃縮する装置．操作中のコンタミネーションをきわめて低く抑えることができる．平沼産業，日立ハイテクノロジーズとの共同研究により実用化に成功した．

三機工業製，平成22年設置．
微量元素の化学実験のためにデザインされたクラス1000のクリーンルーム．クラス100のクリーンベンチ，クリーンドラフト，超純水製造装置などを備えている．化学研究所共同研究ステーションの施設．